Piège d'échappement refroidi à l'eau modèle 250 d'Edwards. PN : A53114000

Le piège d'échappement refroidi à l'eau Edwards modèle 250 refroidit les gaz d'échappement de la pompe et provoque l'accumulation de particules dans le piège. Cela empêche la collecte de particules dans le système d'échappement. Le piège d'échappement est conçu pour se connecter à une pompe utilisée dans un procédé de nitruration LPCVD utilisant du dichlorosilane ou de l'hexachlorodisilane et de l'ammoniac.

Le siphon de gaz d'échappement ne convient pas pour le raccordement à une pompe utilisée dans d'autres processus. Le piège Edwards modèle 250 est conçu pour s'adapter aux pompes à sec BOC Edwards CDP et QDP et aux systèmes de pompage à sec Drystar MKI, MKII et QMKII. Le système doit incorporer un interrupteur à pression pour arrêter la pompe si le système d'échappement est bloqué.

Le piège d'échappement a un corps extérieur principal qui est monté sur un châssis de base. La hauteur du corps du piège peut être ajustée dans le cadre de base pour adapter le piège à différentes pompes. Le châssis de base est équipé de roulettes pour faciliter les déplacements et de pieds de mise à niveau afin qu'il puisse être placé en toute sécurité dans sa position de fonctionnement. Le purgeur d'échappement refroidi à l'eau modèle 250 porte le numéro de pièce Edwards A53114000.

Spécifications du purgeur d'échappement refroidi à l'eau modèle 250 d'Edwards :

• Compatible avec les pompes sèches Edwards : pompes sèches CDP et QDP et systèmes de pompage sec Drystar MKI, MKII et QMKII
• Matériau : le corps du piège est en acier inoxydable AIS 304L et les serpentins de refroidissement par eau sont en cuivre
• Le numéro de pièce de rechange de la doublure est A53115020

Pour les spécifications complètes, veuillez télécharger le manuel d'instructions.